INTEGRATED GAS SYSTEM>>Обмен сериями продуктов IGS
VIGOR предлагает передовые интегрированные газовые системы (IGS), разработанные специально для контроля газа высокой-чистоты в полупроводниковой промышленности. Наши решения сочетают инновационные разработки со строгими производственными стандартами, обеспечивая надежность, компактность и превосходную производительность в критически важных приложениях.
Особенности продукта
- Используется для контроля газа в полупроводниковой промышленности.
- Модульная конструкция
- Все компоненты монтируются на поверхность в соответствии со стандартом SEML.
- Размер составляет около 1/3 от традиционной панели.
- Стандартный материал SEMl, процесс электрополировки и орбитальная сварка
- Уплотнение Wseal и C-опционально
- Двойная упаковка в чистую комнату
- Вся продукция, кроме «кронштейнов», производится в соответствии с технологической спецификацией VS001A.
Регуляторы давления IGS серии VIR
1. Макс. Рабочее давление: 150 фунтов на квадратный дюйм
2. Макс. Рабочая температура: -40 градусов по Фаренгейту ~ 140 градусов по Фаренгейту (-40 градусов по Фаренгейту ~ 60 градусов)
3. Давление на выходе: 0–100 фунтов на квадратный дюйм.
4. Обработка поверхности: Макс. 5уин. Ра
5. Материал: 316L ВИМ-ВАР.
6. Седло клапана: PCTFE (PFA/Vespel опционально)
7. Пропускная способность: Cv=0.08
Мембранные клапаны IGS серии VID
1. Макс. Рабочее давление: 150 фунтов на квадратный дюйм
2. Макс. Рабочая температура: PCTFE 14 градусов по Фаренгейту ~ 176 градусов по Фаренгейту (-10 градусов ~ 80 градусов); PFA 14 градусов по Фаренгейту ~ 302 градусов по Фаренгейту (-10 градусов по Фаренгейту ~ 150 градусов)
3. Нет тупиковой конструкции.
4. Влажную поверхность обрабатываем ЭП, Макс. 5уин. Ра.
5. Материал: 316L ВИМ-ВАР.
6. 100% гелия-утечка-проверена
7. Пропускная способность: Cv=0.1
Клапаны регулирования расхода IGS серии VIM
1. Макс. Рабочее давление: 150 фунтов на квадратный дюйм
2. Макс. Рабочая температура: 14 градусов по Фаренгейту ~ 302 градусов по Фаренгейту (-10 градусов по Фаренгейту ~ 150 градусов)
3. Уплотнение: ФКМ
4. Влажную поверхность обрабатываем ЭП, Макс. 5уин. Ра
5. Пропускная способность: Cv=0.03
Обратные клапаны IGS серии VICV
1. Макс. Рабочее давление: 150 фунтов на квадратный дюйм
2. Макс. Рабочая температура: 14 градусов по Фаренгейту ~ 176 градусов по Фаренгейту (-10 градусов по Фаренгейту ~ 80 градусов)
3. Отделка поверхности: Макс.. 5уин. Ра
4. Давление открытия: 0,33 фунта на квадратный дюйм, ман.
5. Пропускная способность: Cv=0.2
Субстраты Серия VlB (уплотнение C-)
1. C-уплотнение
2. Не-фиксированная установка для обеспечения эффекта герметизации.
3. Влажная часть обработана EP.
4. Обработка поверхности: Макс. 5uin.Ra.
5. Материал: 316L ВИМ-ВАР.
Основная серия продуктов
- Регуляторы давления IGS (серия VIR)
- Мембранные клапаны IGS (серия VID)
- Клапаны регулирования расхода IGS (серия VIM)
- Обратные клапаны IGS (серия VICV)
- Подложки и кронштейны IGS (серия VIB)
- Прокладки (серия VIG)
Почему стоит выбрать VIGOR IGS?
Наши системы представляют собой синергию точного проектирования и практичного дизайна, обеспечивая:
- Экономия пространства: Значительно уменьшен размер панели.
- Сверх-высокая чистота: материалы и процессы, специально разработанные для полупроводниковых-приложений.
- Модульная гибкость: простота настройки, расширения и обслуживания.
- Проверенная надежность: строгие испытания и соответствие стандартам SEMI-.
Мы в VIGOUR предлагаем больше, чем просто компоненты-мы предлагаем интегрированные решения, которые уверенно и точно воплощают ваши идеи в жизнь.
